在測(cè)量采樣過程中，當(dāng)蔡司三坐標(biāo)測(cè)針與被測(cè)件表面觸碰時(shí)，測(cè)頭系統(tǒng)會(huì)有信號(hào)顯示，作為測(cè)量的瞄準(zhǔn)信號(hào)，進(jìn)而通知計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)的采集，以得到得被測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)值。
此外，由于蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)通過測(cè)頭系統(tǒng)進(jìn)行探測(cè)，得到的點(diǎn)位坐標(biāo)值是測(cè)球中心的坐標(biāo)值，為了獲得被測(cè)工件的實(shí)際尺寸，還需加上或減去測(cè)球的動(dòng)態(tài)直徑值。進(jìn)入測(cè)頭校準(zhǔn)程序后，對(duì)標(biāo)準(zhǔn)球進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量方法與幾何元素測(cè)量程序中的球的測(cè)量方法一樣，當(dāng)采點(diǎn)數(shù)量達(dá)到要求時(shí)，測(cè)量程序會(huì)自動(dòng)對(duì)測(cè)量點(diǎn)進(jìn)行計(jì)算處理，將處理后的測(cè)頭校準(zhǔn)結(jié)果，自動(dòng)返回到測(cè)頭校準(zhǔn)對(duì)話框界面中。在按下回車按鍵后，校準(zhǔn)后的測(cè)頭數(shù)據(jù)將作為修正值用于后續(xù)的應(yīng)用數(shù)據(jù)處理中?；鶞?zhǔn)后的測(cè)頭數(shù)據(jù)包括測(cè)頭半徑及球度誤差還有測(cè)球中心相對(duì)于零號(hào)測(cè)頭中心的坐標(biāo)值。